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NS系列5Å重復(fù)性臺(tái)階高度儀0.01埃分辨率，5Å超高精度精準(zhǔn)測(cè)量微觀檢測(cè)微觀輪廓。搭載線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），在半導(dǎo)體、光伏、MEMS等精密制造與科研領(lǐng)域一站式解決多場(chǎng)景微觀參數(shù)檢測(cè)需求。

NS系列薄膜臺(tái)階儀品牌亞埃級(jí)精度、多場(chǎng)景適配性與智能化操作，可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。

中圖儀器NS系列膜層厚度臺(tái)階高度測(cè)量?jī)x亞埃級(jí)精度，（LVDC傳感器核心）憑借亞埃級(jí)分辨率、多場(chǎng)景適配性與智能化操作，直擊半導(dǎo)體、光伏、MEMS等行業(yè)測(cè)量痛點(diǎn)，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化、質(zhì)量管控提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。

NS系列薄膜臺(tái)階測(cè)量?jī)x能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

中圖儀器臺(tái)階儀廠家NS系列通過(guò)2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作，結(jié)合亞埃級(jí)分辨率（5 Å）與智能化分析軟件，可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。

中圖儀器臺(tái)階測(cè)量?jī)x線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。