SuperViewW白光干涉三維表面測量儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

SuperViewW非接觸式3D白光干涉儀基于白光干涉原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

SuperViewW白光干涉3D材料表面輪廓儀采用白光干涉技術，結合具有抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細節。可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

SuperViewW白光干涉微觀三維形貌測量儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW納米級微觀三維形貌3D白光干涉儀主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

SuperViewW高精度納米量級白光干涉測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。