以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡?，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。VT6000系列3d共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù)，在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1中圖國產(chǎn)白光干涉儀采用光學干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性。

VT6000共聚焦測量顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡品牌是一款在材料領(lǐng)域中，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學檢測儀器。采用全電動化設(shè)計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風格，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。

中圖儀器VT6000系列激光共聚焦掃描顯微鏡配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。儀器采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

中圖儀器VT6000激光共聚焦光學顯微鏡采用全電動化設(shè)計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風格，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。主要用于對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。