中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維形貌測(cè)量?jī)x用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量，以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。

NS系列臺(tái)階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，共聚焦工具顯微鏡測(cè)量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

中圖儀器SuperViewW1白光光學(xué)干涉儀品牌采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高測(cè)量精度重復(fù)性和高粗糙度RMS重復(fù)性。采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高.

中圖儀器VT6000共聚焦3D顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，它通過(guò)數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來(lái)實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡，擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)。

NS系列微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀是利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來(lái)計(jì)算出膜層的厚度，500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)，即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量。可以將探針的形貌圖像傳輸?shù)娇刂齐娔X上，使得測(cè)量更加直觀。