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三坐標測量機檢測半導體設備部件同心度的應用
2025-07-18

在半導體設備這一精度決定成敗的戰略性產業,同心度等關鍵幾何參數的精準控制是保障設備可靠運行、提升國產競爭力的核心要素。設備中的微小瑕疵足以引發災難性后果。以軸套為例,兩側圓柱用于裝配軸承,如果不同心,會造成軸在旋轉的時候別著勁,輕則只是噪音...

  • 2023-11-09

    平行度是評估物體是否保持平行狀態的重要指標,對于機械加工和裝配過程中的許多環節都具有重要意義。所以平行度的測量方法及檢測工具在工業制造領域中起著至關重要的作用。三坐標測量機作為一種高精度的測量設備,也可以用于平行度的測量。三坐標測量機測量平...

  • 2023-11-08

    激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。廣泛應用于光學、機械、電子等各種領域的測量。其中,平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應用之一。傳統的測量方法通常采用機械測量或光學測量,但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環境影響等缺...

  • 2023-11-08

    在現代制造業中,精確度和質量控制是至關重要的因素。而對于產品的尺寸和形狀的測量,三坐標測量機成為了一種重要工具。一、為什么選擇三坐標測量機?三坐標測量機是一種能夠精確測量物體三維尺寸和形狀的設備。相較于傳統的測量工具,三坐標測量機具有以下優...

  • 2023-11-02

    工業自動測量系統基于機器視覺、激光等技術,可以提高產品精度和生產效率。它基于數字圖像處理技術和人工智能技術,能夠在生產線上自動完成對產品尺寸的檢測和測量,如用于各種形狀、各種材質的產品的測量(機械零件的尺寸測量、汽車零部件質量控制、精密機床...

  • 2023-11-02

    晶圓在加工過程中的形貌及關鍵尺寸對器件的性能有著重要的影響,而形貌和關鍵尺寸測量如表面粗糙度、臺階高度、應力及線寬測量等就成為加工前后的步驟。以下總結了從宏觀到微觀的不同表面測量方法:單種測量手段往往都有著自身的局限性,實際是往往是多種測量...

  • 2023-11-02

    臺階儀是一種常見的工業測量儀器,廣泛應用于大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域。它能完成對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的...

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