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SuperViewW1粗糙度光學輪廓儀的載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達0.1nm。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1光學三維3D表面輪廓測量儀在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。

SuperViewW1光學三維輪廓儀檢測儀器對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1三維白光輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1光學輪廓儀白光干涉儀能夠以優于納米級的分辨率，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1三維光學輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。