工作原理：

　　多普勒效應（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、接收器、傳播介質或中間反射器的運動，會使頻率發生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。XL激光頭射出的頻率為f0,經過反射鏡反射回來到激光頭內的探測器，當反射鏡不動時，其反射波頻率fr=f0。當反射鏡以v=dx/dt的速度沿線性軸遠離或者靠近激光頭時，因為光程增加或減少了2vt，反射波fr的數值會減少或增加2v/λ0，λ0為激光波長。

　　

　　機床激光干涉儀的組件：

　　要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺、XC環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。

　　

　　數控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術，需要數控機床維修人員掌握大量的專業知識和豐富的數控機床維修經驗。因此，在日常數控機床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設備完好率，是數控機床維修人員的首要任務。當出現機床精度異常、零件表面質量變差等問題時，就需要借助一些先進的精度檢測儀器。

　　

　　激光干涉儀作為數控機床精度常用的檢測工具，能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等。